Полная версия

Главная arrow Техника arrow ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА И ЭЛЕКТРОНИКА. ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ НЕЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН

  • Увеличить шрифт
  • Уменьшить шрифт


<<   СОДЕРЖАНИЕ ПОСМОТРЕТЬ ОРИГИНАЛ   >>

X-ducer фирмы Motorola

Фирма Motorola выпускает датчики абсолютного, относительного, дифференциального давлений серии МРХ [12].

В основе чувствительных элементов фирма "Motorola" использует так называемый X-ducer (рис. 36). В отличие от стандартных датчиков давления, которые используют четыре близко расположенных резистора в конфигурации моста Уитстона, в датчиках серии МРХ используется только одиночный пьезорезистивный элемент, полученный ионным легированием, расположенный на кремниевой мембране и имеющий Х-образную форму.

Напряжение питания (ток питания) подается на X-ducer на ответвления 1 и 3. При воздействии давления мембрана прогибается и в ответвлениях 2 и 4 возникает поперечное напряжение. X-duccr фирмы "Motorola" можно рассматривать как механический аналог датчика, основанного на эффекте Холла.

Преимущества X-ducer заключаются в следующем. Использование одиночного элемента позволяет исключить потребность в получении идентичных по своим параметрам четырех тензорезисторов для моста Уитстона. Это же самое значительно упрощает схему температурной компенсации чувствительности и температурной компенсации дрейфа нуля. Фирма Motorola для температурной компенсации использует напыленные вакуумным способом пленочные резисторы, которые подстраивают лазером для получения необходимых характеристик датчика давления. При этом в температурном диапазоне 0 - 80 °С погрешность измерения давления обеспечивается в пределах ±1% и ±2% в температурном диапазоне -50ч-+125° С. Недостатком датчиков давления серии МРХ является невозможность их использования для измерения жидких сред.

Кристалл датчика давления серии МРХ расположен на кремниевом кри- сталлодсржателс, который приклеен к корпусу датчика. Внутренняя полость заполнена кремнийорганической жидкостью - компаундом. Пластмассовый корпус закрыт крышкой из нержавеющей стали. В корпус виресованы внешние выводы, которые с помощью золотых проволочек соединяются с выводами 1-4 кристалла датчика давления.

Датчики давления фирмы Motorola выходят готовыми к эксплуатации и не требуют дополнительных схем термокомпенсации.

 
<<   СОДЕРЖАНИЕ ПОСМОТРЕТЬ ОРИГИНАЛ   >>