Полная версия

Главная arrow Техника arrow ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА И ЭЛЕКТРОНИКА. ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ НЕЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН

  • Увеличить шрифт
  • Уменьшить шрифт


<<   СОДЕРЖАНИЕ ПОСМОТРЕТЬ ОРИГИНАЛ   >>

Датчик давления типа MBS фирмы Danfoss

В чувствительном элементе датчика давления типа MBS фирмы DANFOSS используется прямоугольная мембрана ( рис.37) [13].

Схема X-duccr

Рис.36. Схема X-duccr

Датчик давления типа MBS фирмы DANFOSS

Рис.37. Датчик давления типа MBS фирмы DANFOSS

Принцип устройства чувствительного элемента преобразователей ENDEVCO

Рис.35. Принцип устройства чувствительного элемента преобразователей ENDEVCO: 1- области расположения тензорезисторов с обратной (планарной) стороны пластины; 2- тензорсзисторы; 3- контактные площадки

На рабочей стороне кремниевого кристалла (6) сформирована прямоугольная диафрагма (1) с четырьмя одинаковыми резисторами (7), расположенными на её поверхности и включенными в мост Уитстона. Тензорезисто- ры имеют абсолютно одинаковую форму в виде длинного прямоугольника, что позволяет максимально снизить температурный дрейф нулевого сигнала.

При подаче напряжения питания и воздействия давления, заставляющего мембрану изменять свою форму, возникающий пьезоэлектрический эффект вызовет изменение сопротивления четырех резисторов моста, и сигнал на его выходе, пропорциональный давлению, будет возрастать.

Кремниевый чип закреплен (3) на стеклянном основании (4). Золотые провода приварены к контактным площадкам (2, 8) чипа и к внутренним проводам, которые проведены через стеклянные уплотнения от схемы компенсации и усиления.

Для защиты кремниевого чипа от окружающей среды он заключен в диафрагму из нержавеющей стали, которая приварена к сенсорному элементу методом лазерной сварки. Для передачи давления среды от диафрагмы на мембрану используется силиконовое масло (5). Для предотвращения возникновения пузырьков воздуха масло заливается при температуре 100 °С в условиях вакуума. После заливки проводится герметизация. Датчик давления располагается в пластмассовом корпусе и закрыт крышкой из нержавеющей стали.

 
<<   СОДЕРЖАНИЕ ПОСМОТРЕТЬ ОРИГИНАЛ   >>